半導體和液晶製造廠對內部的溫度、濕度和潔淨度等有着及其特殊的要求,廠務工程部作為製造廠後勤單位,承擔了對無塵室的水電氣全年24小時正常運行的責任。友達光電蘇州公司廠務工程部副理歐字林身感責任重大,“廠務是生產線生產設備的源頭,任何一套系統出現問題,都會直接影響到生產,所以我們廠務工作不能有一點儿中斷和故障。”
和艦科技（蘇州）有限公司無塵室要求溫度在23℃±0.5℃,濕度為45%±2.5%,生產區為0.1級,維修區為1000級。為了防止和減少污染物的進入,需要無塵室保持20Pa的正壓,和艦廠務工程部一位經理介紹說。TFT-LCD後段組裝廠對工作環境的要求雖然沒有半導體和TFT前段高,但也需要無塵室設計。友達蘇州公司潔淨度為1萬到10萬級,溫度為22℃±2℃,濕度為60%±7%。
為了保証這一環境,無塵室通常採用MAU+FFU的設計,即作為主送風的MAU將具有一定潔淨等級和溫濕度的風送到無塵室的天花板,由於風力已有減弱,再搭配小型的FFU再次送風,從而達到無塵室的溫濕度和正壓等要求。
維持無塵環境需要用到特殊的多層過濾網、密閉式馬達和空調箱等,其中被兩位採訪者統一稱為“主要源頭”的是冷水機組。因為不論無塵室還是辦公室空調系統都要用到冰水（冷凍水）,它是維持溫濕度的最為關鍵的元素。和艦和友達同時選用了特靈空調（Trane）的冷水機組。
“當初選擇冷水機組時經過了慎重地考慮。除了設備的性能和可靠性,還要考慮設備的運轉費用和節能效果。再好的設備也會坏,因此售后服務是建廠時評估的一項重點。”和艦廠務經理說。半導體製造廠建成后通常需要使用10年以上,目前和艦一個月的電費就達600多萬元,象冷水機組這樣的大負載設備,夏天大約占整體耗電的20％。在這種情況下,節能和高效的設計就成為了用戶需要重點考慮的問題。和艦廠務經理介紹：“Trane的產品不但高效、節能,還具有熱回收的功能,它能將電機運轉的發熱收集,變相提供中溫水。在冬天開機除濕的同時產生熱水,也達到了節能的效果。”
